MT-50A/M系列气体质量流量控制器
概要
MT-50A系列采用温度变化对应于质量流量的 原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在 50SLM到 300SLM的气体流量范围， 并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通， 高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应 用领域广泛.
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 低单价
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广： - 50,100,150,200,300SLM
o 高 ±2%
o 可选用MT系列控制模块，具有数位显示、电源 供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。 o 气体分析设备。 o 固定气体流量控制。 o 气体混合或分离设备
标准
气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa 输入输出 输入设定电压…………1～+5.00V或 4-20MA
输出电压检测…………1～+5.00V或 4-20MA
选型
MT-50A | □ | □ | － | □□□ | － | □□□ | － | □ | □ | □ | |||
型式 | A | 模拟式 | |||||||||||
B | 数字式 | ||||||||||||
功能 | M | 流量计 | |||||||||||
C | 流量控制器 | ||||||||||||
流量范围 | ABC | ||||||||||||
气体种类 | 013 | N2 | |||||||||||
008 | Air | ||||||||||||
015 | O2 | ||||||||||||
004 | Ar | ||||||||||||
025 | CO2 | ||||||||||||
001 | He | ||||||||||||
FFF | 其他 | ||||||||||||
接头 | 1/4”VCR | 1 | |||||||||||
1/2”VCR | 2 | ||||||||||||
3”SWL | 3 | ||||||||||||
6”SWL | 4 | ||||||||||||
其他 | F | ||||||||||||
讯号 | DC 1~5V | 1 | |||||||||||
4-20mA | 2 | ||||||||||||
电源 | DC24V | 1 | |||||||||||
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
参数
功能 | 流量计/控制器 | |
基本型号 | MT-50A/M | |
满量程流量范围(N2) | SLM | 0～ 50, 60，70，80，90，100 |
SLM | 0～ 120, 150，170，180，190，200 | |
(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重复(％F.S.) | ±0.2 | |
响应时间(sec) | ≤2 | |
流量输出信号 | 1——5.00V 4——20mA | |
流量设定信号 | 1——-5.00V 4——20mA | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
******耐压 | 3MPa | |
介质接触材质 | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 | |
接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
尺寸 | 125×30×145 mm | |
电源要求 | 24VDC | |
重量 | 1.5KG |